濺射是半導(dǎo)體制造中一道不可或缺的工序，用以制備薄膜材料。在實(shí)際生產(chǎn)中通過使用離子轟擊的方式將靶材上的原子逸出至單晶硅基板上，形成金屬薄膜。

靶材是濺射工藝中使用中的關(guān)鍵核心材料。目前靶材行業(yè)被美日大企業(yè)壟斷把控，其他廠商想要在激烈的競(jìng)爭(zhēng)中脫穎而出，就需要在技術(shù)、質(zhì)量實(shí)力后來居上。其中質(zhì)量控制離不開高精密測(cè)量技術(shù)。

寧波江豐電子材料股份有限公司是國(guó)產(chǎn)集成電路材料的核心企業(yè)，其研發(fā)生產(chǎn)的超高純金屬濺射靶材填補(bǔ)了中國(guó)在此領(lǐng)域的空白，滿足不斷擴(kuò)大的市場(chǎng)需求。

為了提升靶材尺寸測(cè)量效率，縮短交付周期，緩解勞動(dòng)力缺口壓力，江豐電子在2021年12月6日正式啟動(dòng)自動(dòng)化檢測(cè)引進(jìn)項(xiàng)目。本項(xiàng)目由思瑞提供密檢測(cè)設(shè)備、模德寶提供柔性自動(dòng)化解決方案，攜手合作突破行業(yè)瓶頸。

這份自動(dòng)化方案中采用了思瑞CROMA686三坐標(biāo)作為測(cè)量機(jī)型。CROMA采用海克斯康專門打造的控制系統(tǒng)，提供21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能，保證機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度。

此外，CROMA搭載的多項(xiàng)核心技術(shù)為精密測(cè)量提供保障。先進(jìn)全鋁技術(shù)、精密60°三角梁技術(shù)、高精密氣浮系統(tǒng)、歐洲進(jìn)口光柵尺多項(xiàng)核心技術(shù)保證其測(cè)量精度。

精心制造的CROMA三坐標(biāo)為穩(wěn)定測(cè)量提供堅(jiān)實(shí)保障。選材上基于集團(tuán)供應(yīng)鏈平臺(tái)，讓CROMA均選用優(yōu)質(zhì)零件。制造中采用高標(biāo)準(zhǔn)工藝流程和工藝裝備，保證機(jī)器質(zhì)量。

在此方案中，CROMA機(jī)型搭載了自動(dòng)化模塊系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)和機(jī)器人、上下料系統(tǒng)以及相關(guān)傳感器的信息互動(dòng)。通過自動(dòng)化管理軟件，自動(dòng)完成工件測(cè)量，分析判斷工件檢測(cè)結(jié)果，根據(jù)需要生成檢測(cè)報(bào)告及數(shù)據(jù)。

思瑞測(cè)量為此次三坐標(biāo)柔性自動(dòng)化檢測(cè)線項(xiàng)目提供了精準(zhǔn)測(cè)量保障。此后思瑞將持續(xù)關(guān)注制造行業(yè)的測(cè)量需求，不斷創(chuàng)新，幫助相關(guān)制造行業(yè)實(shí)現(xiàn)高效率精準(zhǔn)測(cè)量做出更大的貢獻(xiàn)。